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材料分析
穿透式电子显微镜(TEM)
描述： 穿透式电子显微镜(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一种使用高能量电子束让超薄的样品成像，影像分辨率可达0.1奈米的原子等级，用以观察材料微结构或晶格缺陷的分析仪器。
可针对材料之显微结构、晶格缺陷(Dislocation)、化学成分进行分析；搭配上EDS、HAADF(ZC)、应力分析等功能，更能得到原子尺度结构与成份信息，解决制程上各种难题。
应用范围：
显微结构分析(晶格影像)；
结晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析；
元素成分分析；
电子绕射图分析；
杂质及污染源分析。
检测图片：
缺陷PV-TEM 转XS-TEM延伸分布分析：
LED磊晶结构分析：LED磊晶各层结构与LED量子井观察与量测。
3D DRAM分析：3D DRAM结构分析与3D DRAM EDS mapping分析。
高解析TEM/EDS分析：28奈米HKMG晶体管TEM影像与28奈米HKMG晶体管EDS mapping。
高解析TEM影像分析：先进制程FINFET影像:高倍率原子影像与STEM明场像與暗场像。
检测设备能量图片：
FEI Talos-F200X
JEOL JEM-2100F
