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失效分析
扫描式电子显微镜(SEM)
描述:
扫描式电子显微镜(Scanning Electron microscopy, SEM)主要是利用微小聚焦的电子束(Electron Beam)进行样品表面扫描,激发样品产生各种物理信号,如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等,SEM主要就是收集从表面发出的二次电子形成样品的表面图像。
测试范围:
针对各种材料表面微结构观察;
SEM测量样品尺寸;
EDS可针对样品表面,进行微区定性与半定量成份元素分析/ 特定区域之Point、Line Scan、Mapping分析;