半导体组件参数分析

描述： 利用SMU(Source measurement unit)供应电压或电流，验证与量测半导体组件特性(Diode I-V Curve、MOSFET特性曲线等)。如电容-电压特性曲线、电压-电流(IV)、电阻、电容、电感值量测或信号波形等，藉此了解组件的故障行为，以利后续的分析动作。

检测设备能力：

Keysight B1500A：最多4 Channels、最高电压200 V、最大限流1A，功率为20W。

1、可在0.1 fA-1 A /0.5 µV - 200 V范围内进行精确的电流-电压（IV）测量，支持点测量、扫描测量、采样和脉冲测量；

2、在1 kHz至5 MHz频率范围内进行交流电容测量，支持准静态电容-电压（QS-CV）测量；

3、可选择不同模式（先进的脉冲IV测量和超快IV测量），最低采样间隔为5 ns（200 MSa/s）；

4、电性失效分析量测(EFA，Electrical Failure Analysis)；

测试范围：

CMOS 晶体管 Id-Vg、Id-Vd、Vth、击穿、电容和 QSCV

双极晶体管 Ic-Vc、二极管、Gummel 曲线图、击穿和电容等

分立器件 Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二极管等

内存 Vth、电容、耐久性测试

功率器件脉冲 Id-Vg、脉冲 Id-Vd、击穿

纳米器件电阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc

可靠性测试 NBTI/PBTI、电荷泵、电迁移、热载流子注入、斜坡电流（J-Ramp）、TDDB 等

检测曲线图片：

检测曲线图片

检测设备：

检测设备

检测优势：

1、电容-电压(C-V)、电压-电流(I-V)、电阻(R)、电容(C)、电感(L)和讯号波形(Waveform)等。为失效分析提供保障，以利后续的分析动作。

2、 Keysight EasyEXPERT group+ 软件是B1500A 自带的 GUI 界面软件，可在B1500A 的嵌入式 Windows 10 平台上运行，支持高效和可重复的器件表征。B1500A 拥有几百种即时可用的测量（应用测试），为测试执行和分析提供了直观和功能强大的操作环境。它可以帮助工程师对器件、材料、半导体、有源 / 无源元器件或几乎任何其他类型的电子器件进行精确和快速的电子表征和测试。

3、测试范围广、定位精确、测试数据图片更直观、测试效率更高。