3
失效分析
半导体组件参数分析
描述： 利用SMU(Source measurement unit)供应电压或电流，验证与量测半导体组件特性(Diode I-V Curve、MOSFET特性曲线等)。如电容-电压特性曲线、电压-电流(IV)、电阻、电容、电感值量测或信号波形等，藉此了解组件的故障行为，以利后续的分析动作。
检测设备能力：
Keysight B1500A：最多4 Channels、最高电压200 V、最大限流1A，功率为20W。
1、可在0.1 fA-1 A /0.5 µV - 200 V范围内进行精确的电流-电压（IV）测量，支持点测量、扫描测量、采样和脉冲测量；
2、在1 kHz至5 MHz频率范围内进行交流电容测量，支持准静态电容-电压（QS-CV