光谱能量分析仪

描述： EDS全称为Energy Dispersive Spectrometer，EDS是电子显微镜（SEM扫描电镜、TEM 透射电镜）的重要附属配套仪器，主要利用电子束撞击在样品上所激发的特征X光来进行待测样品的定性或半定量化学成份分析。

EDS通常与SEM (扫描电子显微镜）、TEM (透射电子显微镜）和STEM (扫描透射电子显微镜）等影像分析工具搭配使用的分析技术。当EDS和这些影像工具结合到一起时，可以提供直径至纳米的区域进行元素分析。电子束对样品的撞击会产生样品元素的特性X-射线， EDS分析可用于确定单点的元素成份，绘制出二维/三维的成像区域元素的成份分布/称映图(Mapping)，或者EDS 线扫描Line-scanning一维成份分布。

应用范围：样品元素分析，被动件真伪鉴别